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氮質譜測漏法檢測襯氟蝶閥漏率

發布于:2019-12-26 17:32:01

本文介紹一種襯氟蝶閥漏率檢測方法:氮質譜測漏法。


氮質譜測漏法檢測襯氟蝶閥漏率


  ①測試裝置


  測試裝置由氦質譜檢漏儀和檢漏臺及其真空系統組成。


  ②測試步驟


  檢漏儀靈敏度(最小可檢漏)Qmin的測試。


  在被測閥門漏率測試之前,在檢漏臺接口處接通標準漏孔,測得氦質譜檢漏儀的靈敏度(最小可檢漏率)Qmin




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